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LIDA系列光柵尺

LIDA series for high traversing speeds and large measuring lengths

敞開式光柵尺

? ? ? 設(shè)計(jì)用于需要高精度測量的機(jī)床和系統(tǒng)，典型應(yīng)用包括： 　　半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備 　　PCB電路板組裝機(jī) 　　超精密機(jī)床 　　高精度機(jī)床 　　測量機(jī)和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備 　　直接驅(qū)動(dòng) ? ??

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